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金刚石有许多优异的性能,具有广阔的工业应用前景.本论文对金刚石的性质、制备工艺以及应用范围进行了较详细的论述,同时使用水冷不锈钢腔体式微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)金刚石薄膜装置对以下两个问题进行了比较细致的研究:①了解了金刚石薄膜沉积工艺对薄膜红外光学性能的影响并对薄膜的红外光学性进行了研究;②研究了硬质合金刀具的预处理工艺对金刚石薄膜与硬质合金刀具之间附着力的影响,研究结果表明用等离子体硼化处理可提高金刚石薄膜与硬质合金刀具之间的附着力.