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微片激光回馈干涉仪具有灵敏度高、易准直、结构简单等优点,可以实现微小、轻薄、高温、易碎、极低反射率等特殊目标的非接触测量,在航天航空、精密测量、工程技术等领域都有非常广泛的应用。但是这些研究大多都只能测量离面位移,无法测量面内位移。在实际应用中很多设备、材料等都会产生面内位移,如材料的形变、MEMS器件的面内运动等,因此面内位移的测量在实际应用中有非常重要的意义。针对这一点,本文利用微片激光回馈干涉仪设计并搭建了面内位移测量系统,开展了粗糙表面激光回馈面内位移测量方法的研究。本文的主要研究工作包括以