从70年开始有关于声表面波(SAW)传感器的研究慢慢的发展起来了,SAW器件可以用来检测NO2, H2S, NH3, SO2,甲醛等多种气体,因为SAW器件是以数字信号的方式输出,这种优势是其他类型的传感器无法比拟的。不仅如此,声SAW器件还有体积较小、质量轻、抵抗环境干扰能力强、灵敏度高、线性检测范围大,检测准确度高等众多特点。酞菁类金属化合物环内的空穴结构能够很好的吸附气体,而且它的化学稳定性能也非常好。在酞菁分子吸附气体之后一般会引起SAW器件上敏感膜的电导率或者质量的变化,我们通过检测SAW器件两端输出换能器之间的频率差值的变化,就会检测出不同种类和不同浓度的气体。本文主要围绕着以酞菁锌(ZnPc)作为SAW器件的敏感材料,在室温下进行二氧化氮(N02)检测。该敏感膜是通过微量移液器滴涂到器件一条延迟线的敏感区。经过总结发现以ZnPc为敏感膜的SAW器件对lppm的NO2响应速度极快,灵敏度,重复性能都比较好。碳纳米管不仅具有良好的力学性能,导电性能,热传导性能,而且具有光学等其他方面的性能,较大的比表面积和丰富滴空隙结构也是它为什么如此吸人眼球的因为,它一直被科研工作者认为是一种理想的气体吸附的材料,可以用它来改善多种材料的敏感特性。通过反复试验,我们发现由于在ZnPc中掺杂了MWCNTs,结果ZnPc传感器的灵敏度有了很大的提高。通过掺杂前后的对比电子显微镜扫描(SEM)图,我们分析出了SAW器件敏感膜为什么能够检测NO2的原因。同时为了检测器件的选择性能和稳定性能,首先我们在常温下对SO2, H2S, NO2等三种气体在10ppm下进行对比检测,因为S02和H2S有可能成为实际应用中的杂质气体。其次在试验所持续的三个月的过程不断检测器件的稳定性能,结果发现我们通过滴涂的ZnPc/MWCNTs薄膜在常温下具有很好的选择性和稳定性。