SrTiO<,3>厚膜传感器的掺杂研究

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本文对溶胶—凝胶法(简称Sol-Gel法)的制备工艺进行了系统研究,并成功获得制备SrTi0.8Mg0.2O2.8的工艺;运用固相合成法制备了以SrTiO3为基体,La、Mg、Al、Fe和Cr等多种元素复合掺杂的Sr1-xLax(Ti1-yMy)Oz多晶氧化物半导体,其中,M为替代Ti位的掺杂物,包括Mg、Al、Fe和Cr等多种元素;同时在粉体中加入玻璃相B(硼)。并测试了样品在600℃~800℃内不同氧分压下的阻—温特性和氧敏特性,对结果作了合理的解释和分析。利用扫描电镜(SEM)和X光衍射(XRD)等现代分析手段对实验制备的氧敏材料进行了表征。XRD实验显示固相合成法和溶胶—凝胶法分别在1250℃和800℃得到了理想的钙钛矿结构,SEM实验证明溶胶—凝胶法制得的粉体粒径均匀,且尺寸比固相法制得的粉体小。实验结果表明:在SrTiO3中铬离子替代钛位可使SrTiO3实现P型掺杂;Cr掺杂促进了氧空位的产生,加强环境氧与晶格氧的交换,提高了氧灵敏度,灵敏度达到9;铬离子变价增加了空穴载流子浓度,提高了材料的电导率,使电阻降低到几千欧;玻璃相硼的加入使敏感层的附着力有明显改善,达到实用要求。
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