伴随着科技进步,半导体制造业规模指数级扩大,复杂度逐步提高,市场竞争也愈发激烈。如何在激烈的市场竞争中,制定合理的生产计划、保证设备的可靠性及运行效率以获得最大的经济效益,是半导体制造企业亟需解决的问题。生产调度与设备维护是企业运作管理中最为核心的两部分内容,生产调度与设备维护直接关系到企业生产的成本、质量与交货期。当前将生产调度与设备维护当做一个整体进行联合调度的研究比较少,并且大部分研究是将设备维护当做生产调度的约束条件之一,将二者的相互作用进行量化且同时对生产过程中不确定因素即变动性的影响进行考量的研究比较少。本论文以半导体并联生产线为研究对象,针对现有的生产与维护联合调度方法中对生产与维护之间的影响度量不准确、不确定因素未被进行充分考虑等缺陷进行改进,本论文围绕以下几个方面进行研究:首先,将生产调度与维护调度作为一个整体,量化生产调度和预防性维护之间的影响与关联,制定了基于故障率的视情预防性维护、加工期间突发故障进行小修、加工开始前出现故障直接进行更换的综合维护策略与生产调度相结合的联合调度策略。将生产对维护的影响通过工件加工过程中的惰化因子进行度量,将维护对生产的影响通过预防性改善因子进行度量,以此为前提建立了以最小化最大完工时间为目标的联合调度模型。其次,针对本论文建立的联合调度模型分析常见的求解算法,并根据联合调度模型的数学特征和研究对象不确定性、复杂性的特点选择遗传算法进行求解,设计有约束性的编码方式,对操作算子和参数进行重设计和改进以解决“早熟”、查找效率低等问题,采用精英保留策略保存迭代过程中产生的最优个体以实现全局最优。然后通过算例对本论文所建立模型和所设计算法的有效性进行验证。最后,以联合调度模型和求解算法为基础,设计和实现半导体并联生产线联合调度原型系统,基于该系统可实现信息化管理、获得生产与维护联合调度序列,从而提升效率、节约成本。