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本文采用真空热蒸发方法,在硅油基底表面制备一系列铁薄膜样品,并利用透射电子显微镜(TEM)和分光光度计系统地研究了沉积速率f以及基底温度Ts对于铁薄膜的微结构、结晶性能及光学特性的影响,得到主要结论如下：(1)利用TEM对采用相同沉积厚度(5.0 nm)和基底温度(Ts=-10.0℃)以及不同沉积速率制备的铁薄膜系统的微观结构及结晶性进行了研究。实验结果表明：当沉积速率f=0.01nm/s时,Fe薄膜样品呈现无定形结构；当沉积速率增大到f=0.05nm/s时,可在无定形结构中观察到少量小尺寸晶粒；随