基于近年来国防事业、工业、环保、自控的需要,本文对具有自检测功能的复合量程压阻式加速度传感器阵列进行了研究。该项研究的特色体现在两个方面。一方面,采用复合量程设计的硅微传感器阵列作为探测器件,增加了信息的冗余度,从而实现了信息多维化和多参数检测。同时,也提高了测试和控制系统的可靠性、灵活性和通用性。另一方面,传感器具有自检测功能,对其工作前的状态正常与否进行检测,也可以大大提高系统的可靠性。因此,该项研究对许多领域的多参数测试与多功能控制技术的发展起着重要的推动作用。本文首先对微加速度传感器及传感器阵列的国内外发展现状进行了研究。考虑到各种硅微传感器的综合性能和工艺成熟性等因素的影响,论文选择压阻式微加速度传感器作为研究对象。该传感器阵列具有自检测功能,并采用四个量程2×2阵列的结构形式。根据设计约束,通过理论计算和仿真分析对传感器阵列的几何参数进行优化设计。通过仿真分析确定压敏电阻的位置,连接成开路的惠斯顿电桥。通过分析梁和质量块的阻尼力,给出传感器系统的阻尼系数。对静电转换方式的自检测功能、抗冲击性能等进行理论分析。同时,对传感器的横向灵敏度、振动模态、自检测性能以及抗冲击性能进行仿真分析。本文结合加工单位的工艺特点,设计了切实可行的工艺流程,并进行版图设计。完成了对复合量程压阻式加速度传感器阵列的加工。最后,对加工后的传感器阵列进行了封装与初步测试。