【摘 要】
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该文提出了基于动态聚焦误差检测和静态聚焦误差检测相结合的光电测微系统.该文通过对激光波长、数值孔径、聚焦误差检测方法、输出特性等参数的比较后,选用KSS-213C激光头作
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该文提出了基于动态聚焦误差检测和静态聚焦误差检测相结合的光电测微系统.该文通过对激光波长、数值孔径、聚焦误差检测方法、输出特性等参数的比较后,选用KSS-213C激光头作为光电测微系统的信号采集器件.在推导音圈电机数学模型的基础上,通过实测音圈电机的幅频和相频响应特性,系统辨识出音圈电机实际数学模型的参数.详细介绍了音圈电机的伺服控制系统并用Matlab软件进行了仿真.设计了DSP系统并实现了数字滤波和音圈电机的PID控制.该文试制了一套能快速测量纸张等软质物体表面粗糙度的实验装置,测试了整个系统的开环特性,并完成了闭环实验.由于激光头的动态测量范围不能满足测量的要求,该文提出了四种增大激光头动态测量范围的方案,重点探讨了换用大面积四象限探测器的方案.但由于实验条件和加工工艺的限制,该方案尚处于试验阶段.为完成测微系统,提出了后期努力的方向.
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