【摘 要】
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随着工艺和科技的发展,电子器件的精密程度越来越高,其对ESD的敏感度也会增加。因此,我们有必要加深对ESD规律及特性的研究,改进ESD测试方法,完善ESD试验标准,以满足生产和生
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随着工艺和科技的发展,电子器件的精密程度越来越高,其对ESD的敏感度也会增加。因此,我们有必要加深对ESD规律及特性的研究,改进ESD测试方法,完善ESD试验标准,以满足生产和生活的需求。针对接触式ESD电流波形的描述问题,使用BMM的2RLC电器结构构建了ESD发生器的接触式放电回路,借助Adams预测校正方法对描述ESD回路特性的微分方程组进行数值分析,仿真获得符合标准规范的电流波形。此外,还将Adams预测校正方法用于5阶BMM-ESD回路放电电流的数值计算,仿真获得的电流波形不仅符合波形参数规范,而且能够反映出实测波形中的寄生振荡现象。针对实测ESD电流波形存在噪声干扰的问题,将小波分析与自适应Kalman滤波算法结合用于ESD电流波形的去噪分析。为了获悉小波去噪的效果,建立了加噪的ESD电流信号模型,小波去噪方法在此模型上进行去噪性能分析,以确定适合ESD电流波形去噪的小波函数和分解层次。对于实测ESD电流波形,在小波阈值去噪的基础上,引入自适应Kalman滤波算法做优化处理,以达到降噪目的。在实际应用中,非接触式ESD是出现概率最大的放电现象,其对电子器件和生产设备造成的干扰和损害不可忽视。为探索气压和电极移动速度对放电电流参数影响的规律,本文采用理论推导与实验验证的方式,从微观角度对两种因素效应的内部机理作了探讨。该研究内容对于进一步展开ESD规律及特性的研究,可以提供有益的参考作用。
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