【摘 要】
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随着微机电系统MEMS的快速发展,基于硅结构的微流体控制系统——微流量传感器由于其体积小、功耗低、控制精度高、响应速度快等特点,得到了科学家们的广泛青睐,并已成为MEMS
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随着微机电系统MEMS的快速发展,基于硅结构的微流体控制系统——微流量传感器由于其体积小、功耗低、控制精度高、响应速度快等特点,得到了科学家们的广泛青睐,并已成为MEMS研究应用中的一个重要分支。它使微流体问题在一个全新的尺寸范围内得以解决,微流体系统对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作有重大影响。 本课题在对微流体特性详细分析的基础上,利用硅的压阻效应原理,研制了一种结构简单、易于加工的悬臂梁式微流量传感器。该微流量传感器的悬臂梁结构处于流体中时,流体对结构的作用力对其产生一个弯矩的作用,通过基部的压敏电阻转化为其电阻阻值的变化,再由惠斯通电桥将变化的阻值换算成与被测量有对应关系的电量输出。 本论文中首先进行了微流体流动特性的理论分析;再对该微流量传感器结构特性模拟,提出版图及相关工艺设计;最后利用MEMS加工工艺进行制作。 本论文共分6章: 第1章 绪论 第2章 微流体流动特性 第3章 微流量传感器工作原理及工艺模拟 第4章 微流体流动模拟 第5章 微流量传感器的制作 第6章 实验结果与讨论
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