本文以表面等离激元中的MIM波导结构为研究对象,运用时域有限差分方法,研究耦合腔结构对波导的传输性能影响,分析耦合腔在激发条件下的辐射方式和耦合腔之间的模式共振规律。利用FDTD模拟软件,文章研究了不同情况下的耦合腔对波导性能的影响、计算验证了直接耦合腔对传输的加强作用和间接耦合腔对传输的减弱作用、运用能级理论和辐射场模型分析了间接耦合腔的减弱作用;讨论了纳米腔中不同阶模的共振条件与偶极子共振的联系,结果表明它们之间的位置决定了偶极子共振的强度;观察到组合耦合结构中的类EIT现象,发现耦合距离和介电常数都会对波导传输中的透射峰产生影响;设计了一种高品质滤波结构,该结构通过采用多种低阶模的杂化,即:利用空气腔产生的零阶模与硅腔产生的一阶模发生Fano共振,实现了在近红外区域的高品质传输通道。计算结果显示,波长在1562 nm时,传输效率T达到92%,并且光学分辨率FWHM为5 nm;当光学分辨率FWHM为12 nm时,传输效率T超过99%。