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大气压辉光放电近年来一直是等离子体研究热点之一。在之前的研究中,对大气压辉光放电的几种重要的形式即大气压脉冲辉光放电,大气压介质阻挡辉光放电以及大气压射频辉光放电等都做了大量的研究,这些放电形式都有着各自的特点,而脉冲调制射频辉光放电实现了放电强度和放电稳定性的有效调控,但也表现出新的问题,即放电的维持电压偏高,起辉不易等问题。 本论文将在脉冲调制射频辉光放电中射频放电段之间引入脉冲放电,通过改变大气压脉冲放电与射频放电段之间的时间间隔和脉冲放电强度,研究脉冲放电对射频放电段起辉阶段的影响。 首先,通过比较大气压脉冲调制射频辉光放电中引入脉冲放电后,与单纯的脉冲调制射频辉光放电的射频放电段的起辉阶段的电学特性和光学特性后,发现引入脉冲放电后射频放电段的起辉时间变短,且起辉电压和维持电压也相应降低。 然后,分别通过改变脉冲放电与射频放电段时间间隔和脉冲放电放电强度来探究这两个因素对射频放电段的规律性影响。在脉冲放电强度不变的条件下的脉冲放电与射频放电段时间间隔为2μs,5μs和8μs这三种情况,以及在脉冲放电与射频放电段时间间隔维持在5μs时,脉冲放电电流强度峰峰值为0.86A,1.22A和2.24A的三种情况下分别进行具体研究,通过研究发现,在脉冲放电强度的电流峰峰值为1.22A的情况下,随着时间间隔的减小,射频放电的起辉时间也在逐渐减少,最多可以减少0.8μs;而在脉冲放电与射频放电段时间间隔为5μs不变的情况下,随着脉冲放电电流强度的增加(电流强度峰峰值的大小不超过2.24A),射频放电段的起辉时间减少,起辉电压及维持电压也相对减小,但当脉冲放电电流峰峰值达到2.24A以后,发现射频放电段起辉时间反而变长。