【摘 要】
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本文针对民机专项项目对薄膜热电偶的技术需求:测量温度高达1000℃,响应时间为50微秒,选用Pt和Pt Rh作为贵金属薄膜热电偶的热电功能材料,以Al2O3陶瓷为基底制备了薄膜热电偶,对动静态性能进行了研究。首先,根据薄膜热电偶的测试需求,分别设计用于静态测试和动态测试的热电偶结构,并采用MEMS工艺制备了Pt-Pt Rh贵金属薄膜热电偶。然后,搭建了薄膜热电偶的静态测试平台。通过将薄膜热电偶悬浮
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本文针对民机专项项目对薄膜热电偶的技术需求:测量温度高达1000℃,响应时间为50微秒,选用Pt和Pt Rh作为贵金属薄膜热电偶的热电功能材料,以Al2O3陶瓷为基底制备了薄膜热电偶,对动静态性能进行了研究。首先,根据薄膜热电偶的测试需求,分别设计用于静态测试和动态测试的热电偶结构,并采用MEMS工艺制备了Pt-Pt Rh贵金属薄膜热电偶。然后,搭建了薄膜热电偶的静态测试平台。通过将薄膜热电偶悬浮于炉堵的测试系统排除了补偿导线对薄膜热电偶输出结果的影响。反复升温至1000℃,测得薄膜热电偶与标准热电偶具有基本相同的电势输出,波动范围在?0.05m V范围内,测温准确度较高且重复性较好,满足了项目的测温技术指标。最后,设计并搭建了薄膜热电偶的动态测试平台。以脉冲激光作为外部激励,同步采集光电器件和薄膜热电偶的输出,创新性的以此确定激光开始作用于薄膜热电偶表面的时间。获得5us的前部分响应时间和25us的后部分响应时间,具有较快的响应速度。测试PI绝热层对实验结果的影响,发现其对响应时间影响不大,但会将热电势的输出峰值从6m V提高到6.5m V,薄膜热电偶瞬间达到的温度从550℃升高到约580℃。此外还对影响动态能力的其他因素进行探索。调整激光功率因子为0.3、0.6和0.9,发现脉冲能量对响应时间影响很小,仅会影响热电势输出的峰值。薄膜厚度为500nm的热电偶较1000nm具有更短的响应时间。完成了项目关于响应时间的技术指标。
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