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本文对单相材料和双相材料的压痕实验进行了计算模拟，建立了压痕实验数据与材料性能之间的关系，给出了确定薄膜力学性能的方法，即过分析压痕实验所得的实验数据可得到薄膜的弹性、塑性、蠕变性能。本文首先在单相材料理论弹性解的基础上，基于能量法给出了双相材料具有一阶精度的理论弹性解，并与有限元的数值解进行了比较，二者吻合良好。在数值解的基础上，发现薄膜的厚度与压头半径的比值以及薄膜的泊松比对一阶近似解的