【摘 要】
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分子泵可以提供极限真空度为10-6～10-8Pa的清洁高真空，广泛应用于粒子加速器、空间技术、可控核聚变、表面科学、半导体和集成电路、平板显示技术、光伏能源等新兴科技领域。本文以涡轮分子泵工作原理为基础，根据F-400/3500型涡轮分子泵技术标准给定的口径、抽气速率、压缩比等基本参数进行设计计算，利用气体分子通过涡轮分子泵叶片的传输几率计算出分子泵所需叶片几何参数、叶片级数及其组合，并使用Mic
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分子泵可以提供极限真空度为10-6～10-8Pa的清洁高真空，广泛应用于粒子加速器、空间技术、可控核聚变、表面科学、半导体和集成电路、平板显示技术、光伏能源等新兴科技领域。本文以涡轮分子泵工作原理为基础，根据F-400/3500型涡轮分子泵技术标准给定的口径、抽气速率、压缩比等基本参数进行设计计算，利用气体分子通过涡轮分子泵叶片的传输几率计算出分子泵所需叶片几何参数、叶片级数及其组合，并使用MicrosoftVisualC++6.0开发分子泵设计计算软件，实现分子泵设计计算程序化。同时确定了
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