【摘 要】
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YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)高温超导薄膜因具有高临界电流密度、高临界转变温度而受到广泛关注,并且在高温超导电子器件领域有着广泛的应用前景,因此高质量、高性能YBCO薄膜的制备是超导电子器件应用的基础。 YBCO薄膜具有强烈的各向异性,所以其超导性和生长取向密切相关,而在实际应用中以c轴和a轴取向的超导薄膜为主,其中c轴主要应用于电极和涂层导体的制备方面,a轴主要应用于对于超导机制的
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YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)高温超导薄膜因具有高临界电流密度、高临界转变温度而受到广泛关注,并且在高温超导电子器件领域有着广泛的应用前景,因此高质量、高性能YBCO薄膜的制备是超导电子器件应用的基础。 YBCO薄膜具有强烈的各向异性,所以其超导性和生长取向密切相关,而在实际应用中以c轴和a轴取向的超导薄膜为主,其中c轴主要应用于电极和涂层导体的制备方面,a轴主要应用于对于超导机制的研究以及约瑟夫森结的制备方面。但要获得单一取向生长的YBCO薄膜比较困难,相比于溶胶凝胶法,脉冲激光沉积
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