Nb5N6Microbolometer读出电路研究

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近年来太赫兹(THz)辐射在物理、天文、生物和信息等领域的优异表现及广阔的应用前景吸引了大量的关注和研究,太赫兹波段的检测器自然也是人们研究的重点。Nb5N6Microbolometer (微测热辐射计)对太赫兹辐射有很高的响应,对比其他的太赫兹检测系统,Nb5N6Microbolometer检测器有在常温工作、噪声低、易于形成大规模阵列等特点,在太赫兹检测、成像等的应用方面有很大的优势。本文在研究分析了常温Nb5N6Microbolometer对THz信号的响应特性、噪声特性和响应时间等性能指标的基础上,设计了一个包括阻抗变换、隔直器、低噪声放大器以及低通滤波器等模块的单通道低噪声读出电路。针对Nb5N6Microbolometer具有高输出阻抗的特点,通过阻抗变换电路设计使读出电路拥有MΩ量级的高输入阻抗。隔直、放大电路的加入,即起到了滤除Nb5N6Microbolometer输出信号中较大的直流分量的作用,同时又对其中的交流分量进行了59.5dB的放大。电路具有优秀的噪声性能,在1.5kHz左右的工作频率上,电路的噪声谱密度大约在10nV/Hz1/2。该电路的通频带为228Hz至3.703kHz,并且对不同大小的响应信号有着稳定的放大功能,最低可以放大200nV的Microbolometer响应信号。在单通道读出电路的研究基础上,通过基于Atmel AT89S52单片机的应用系统控制多路复用器ADG506A,实现了16路Nb5N6Microbolometer信号的选通读出。设计了16通道的低噪声读出电路。
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