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该论文工作旨在提高实用多孔Al<,2>O<,3>薄膜湿度传感器制备的成品率,改善其稳定性,同时研究与集成电路制备相容的传感器制作工艺.
实用Al<,2>O<,3>薄膜湿度传感器制作工艺的改进及在集成电路中应用的研究
【摘 要】
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该论文工作旨在提高实用多孔AlO薄膜湿度传感器制备的成品率,改善其稳定性,同时研究与集成电路制备相容的传感器制作工艺.
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【发表日期】
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1997年期
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