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由于常用的漏孔不能准确反映泄漏气体的真实流动状态,且难以实现尺寸可控制作。近年来,新型标准漏孔制作及其应用的研究受到广泛关注,寻找尺寸可控、宽压强范围内气体分子流传输的新型漏孔元件成为真空科技领域的一个新的研究热点。本文提出以硅和硼硅玻璃为材料,利用干涉曝光、反应离子刻蚀以及阳极键合技术制作新型纳米级通道型标准漏孔,通过制作过程中工艺参数的调整控制漏孔的尺寸,经测量漏孔的特征尺寸为280nm。本文设计搭建了差压法漏率测量装置,利用该装置测量了氦气、氮气、氧气和氩气通过被测漏孔的漏率和流导。结果表明: