物联网技术是世界信息产业的又一次革命,微型传感器和执行器是物联网的核心技术之一。随着物联网技术的不断发展,对微型传感器和执行器的要求也越来越高。在密闭环境或恶劣环境中,无源无线的微型传感器和执行器因为其无线控制、体积小、且不需要更换电池的优点,显示出了巨大的优势。但是,无源无线的微型传感器和执行器系统并不是每时每刻都需要采集数据,因此在无源无线微型传感器和执行器系统中加入开关控制单元十分必要。从国内外目前的研究来看,研究者正试图通过多种途径来对无源无线的传感器和执行器进行通断或机械动作的控制。而无源无线的MEMS开关控制方法还未见报道。本文介绍了一种以电感耦合驱动的无源无线MEMS开关控制方案,在无源无线微型传感器和执行器系统中加入MEMS开关作为控制单元。分别对电感耦合驱动的无源无线控制单元和MEMS开关进行了电路设计,建立一套完整的电感耦合驱动的无源无线MEMS开关控制单元的设计理论和实现方法,主要研究内容和创新点包括:首先介绍了电感耦合系统的理论基础,对影响能量传输效率的因素作了分析,为后续的电路设计打下了理论基础。接着提出了电感耦合驱动的无源无线开关控制系统,系统包括两部分:初级系统和次级系统,主次系统间通过电感耦合进行能量传输,次级系统与MEMS开关相连,通过初级系统发射不同频率的信号,控制不同的MEMS开关的通断。然后,设计并制备了适用于无源无线系统的MEMS开关,设计了三种横向静电叉指驱动MEMS开关,采用SOIMUMPs工艺进行制造。最后通过实验实现了无源无线MEMS开关阵列控制系统设计和阵列选择性控制。