本文提出了一种高精度微加速度计的信号处理系统。光学加速度计高精度、高灵敏度和不易受电磁干扰特性使得它成为惯性导航应用中潜力比较大的技术。微制造尤其是MEMS的技术进步很好的促进了光学加速度计的发展,使得光学加速度计不但具有光学测量的优点,还具有了微型传感器体积小、可靠性高、易于制造、长期稳定性好、可批量生产、价格低等特点。因此微光学加速度计非常具有研究和应用价值。本文主要研究内容包括以下几个方面：1.全面了解和研究了加速度传感器的相关基础知识,对传感器的发展历史和分类进行了简单介绍。结合MEMS和MOEMS的概念,分析了目前一些典型的MEMS和MEEMS加速度传感器的工作原理及各自的优缺点。2.研究了加速度传感器的各种检测系统,从理论模型对其进行了分析,尤其是基于相位载波解调技术,为本文信号处理系统奠定了坚实的基础。3.提出了高精度、低噪声、抗干扰的高精度微加速度计信号处理系统,包括高精度微加速度计的整体系统设计和基本原理,光电探测器的选择、差分放大电路和带通滤波器的设计,电路板的制作,使用PZT和锁相放大器调制与解调过程,以及DSP数据采集、数据处理。该部分是是本课题研究的核心内容。4.详细介绍了实验平台的搭建,并分析了1g翻滚测试、静态漂移实验和噪声分析实验数据,由实验结果可得该高精度微光学加速度信号处理系统的灵敏度达到0.1μg,根据数据分析,该系统的分辨率还有很大的提升空间。最后对本文所涉及的研究工作进行了总结,并对未来的主要工作方向提出了展望。