我国经济已由高速发展阶段转为高质量发展阶段,创新作为五大新发展理念之首,更是建设现代化经济体系的支撑。而作为创新型企业的领头羊,高新技术企业创新能力的提高无论对其自身还是国家综合创新能力都具有很大的推动力。自2018年以来,国家为鼓励企业增加研发,包含在减税降费中一系列的优惠政策应运而生。减税降费是我国深化供给侧结构性改革的重要举措,尤其是高新技术企业,不仅可以享受研发费用加计扣除优惠政策,还可享受高新技术企业税率优惠政策,对企业减负、经济增收、创新增强都有着重要的意义。本文采用文献研究、实证分析等研究方法,从研发投入—研发产出—财务绩效链条角度出发,基于2010—2020年沪深上市公司的数据,建立双重差分计量模型,并进行实证分析,研究技术创新视角下研发费用加计扣除范围扩大政策、研发费用加计扣除比例提高政策及高新技术企业税率优惠政策对高新技术企业财务绩效的影响力大小,进而揭示彼此之间的相关性,并对比三个政策效应大小。这有利于调节优惠政策使企业最终的收益达到最优,旨在为相应政策的优化和调整以及企业的创新行为提供合理的参考。通过实证分析,检验了三种优惠政策、技术创新和财务绩效之间的相关关系,以及技术创新对三种优惠政策和企业财务绩效之间的中介效应。实证研究表明:（1）研发费用加计扣除范围扩大政策促进了高新技术产业企业的研发投入,但对研发产出和财务绩效没有显著相关性影响。（2）研发费用加计扣除比例提高政策能显著提高高新技术产业企业的研发投入及财务绩效,但由于样本本身而抑制了研发产出的增加。（3）高新技术企业税率优惠政策能显著促进高新技术企业研发投入、研发产出及财务绩效。（4）高新技术企业税率优惠政策对企业研发投入、研发产出及财务绩效的相关影响明显高于其他两个优惠政策。（5）企业研发投入对研发产出、研发产出对财务绩效的影响具有滞后性。（6）高新技术企业税率优惠政策对财务绩效的正向作用最显著,研发费用加计扣除比例提高政策次之,研发费用加计扣除范围扩大政策最弱,但都具有滞后性。（7）企业研发投入对高新技术企业税率优惠政策和财务绩效的中介效应最显著,对研发费用加计扣除比例提高政策和财务绩效具有一定程度的中介调节作用,对研发费用加计扣除范围扩大政策和财务绩效之间没有显著的中介效应。