【摘 要】
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近些年来，SCARA机器人在半导体工业中得到了广泛的使用，该型机器人具有结构简单，速度快等特点。本文基于新型直接驱动晶圆搬运机器人，提出了新的任务空间轨迹规划方法，同时，讨论了
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近些年来，SCARA机器人在半导体工业中得到了广泛的使用，该型机器人具有结构简单，速度快等特点。本文基于新型直接驱动晶圆搬运机器人，提出了新的任务空间轨迹规划方法，同时，讨论了机器人的运动控制方案，以及晶圆搬运机器人伺服系统选型、搭建和实验。 文中首先建立了晶圆搬运机器人的刚体模型，包括运动学和动力学模型。为轨迹规划和控制器设计提供了相应的信息。其次，文中提出了基于刚体动力学模型的轨迹规划算法。再次，文章在运动控制方面也做了一定的研究，推导了基于晶圆搬运机器人的鲁棒设计。最后，文章将各种轨迹绘画方法进行了试验对比，验证了新方法的正确性。
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