【摘 要】
：
薄膜晶体管(thin film transistors,TFT)是平板显示领域不可或缺的关键部件。以氧化锌(ZnO)为代表的金属氧化物薄膜晶体管以其迁移率高,开口率高等优点吸引了越来越多的关注,
论文部分内容阅读
薄膜晶体管(thin film transistors,TFT)是平板显示领域不可或缺的关键部件。以氧化锌(ZnO)为代表的金属氧化物薄膜晶体管以其迁移率高,开口率高等优点吸引了越来越多的关注,因此被认为是替代传统非晶硅(a-Si)和多晶硅(p-Si)的下一代薄膜晶体管技术。但ZnO薄膜通常是多晶结构,容易产生晶界缺陷,且在制备过程中容易产生氧空位缺陷,这制约了其性能的提高,而MgO拥有较强的金属-氧键能,可以抑制氧空位的形成。然而,到目前为止,几乎没有关于MgO-TFT的报道。本文首次以MgInSnO为有源层制成底栅型薄膜晶体管,器件性能可以达到饱和迁移率约为12cm2/Vs,开关比约为107,阈值电压约为0-10V。主要研究内容如下:1.研究了退火温度及退火氧气流量对MgInSnO薄膜晶体管性能的影响,发现当退火温度为750℃时器件性能最佳,进一步提高退火温度使得MgInSnO薄膜由非晶态转变为多晶态,器件性能明显下降;退火氧气流量为400 SCCM时器件性能最佳,氧气流量过高或过低都会使器件性能下降。2.研究了有源层厚度对MgInSnO薄膜晶体管性能的影响,发现有源层厚度为25nm时器件性能最佳,薄膜过厚时器件性能下降且由增强型转变为耗尽型。3.研究了宽长比和器件尺寸对器件性能的影响,发现宽长比小的器件迁移率较大,这是由于边沿电流效应的存在;而尺寸较小的器件迁移率较高,这是由于尺寸越小载流子的传输路径越短,受到的散射越少。
其他文献
目的:研究急性胰腺炎并发肝功能损害的血清学指标变化特点。方法:选择68例合并肝功能损害的轻型胰腺炎为MAP组,110例合并肝功能损害的重型胰腺炎为SAP组,以30例健康体检人员
<正>公司简介安阳钢铁股份有限公司建安分公司:公司前身为安阳钢铁股份有限公司建筑安装工程分公司,是安阳钢铁股份有限公司的分公司,其业务范围以承担安钢集团公司内部检修
针对弗蕾无核葡萄在新疆石河子地区陆地栽培生长旺、翌春萌芽率低、花芽少等现象，于2011年对一年生弗蕾无核葡萄进行根域限制栽培试验。结果表明：采用根域限制栽培技术，基部茎粗
目的:观察玉米须多糖(SMPS)的止血作用并初步探讨其作用机制。方法:分别采用断尾法、玻片法、复钙法观察SMPS对小鼠出血时间(BT)、凝血时间(CT)、血浆复钙时间(RT)的影响;采
目的 :讨论合并神经系统病变梅毒患者的临床表现、诊断和治疗。方法 :回顾性分析 14例梅毒血清学试验阳性梅毒患者的临床特点、血清学变化、影像学异常、治疗及预后。结果 :
当人类即将迈入２１世纪时，一个新的社会形态亦渐展开，用“信息产业”和“知识经济”的语词对它进行宏观描述尽管不够详尽，但已清晰地点明了主题：这是一个以“信息”和“知识”作为财
教师专业学习与发展对提升教育质量具有重要作用。对于发达国家的教师专业学习与发展模式的理念、机制、措施和成效的整体性分析与走向判断,有助于我国教师教育改革与发展的
教师专业化是世界教师教育的大趋势。从事特殊教育的教师,因其教育对象的复杂性,需要有更多的专业知识及专业训练技能,因此其专业发展的要求更加强烈。高校特殊教育专业学生
目的:探讨在宫颈癌中p-63、E-Cd(E-钙黏蛋白)和N-Cd(N-钙黏蛋白)的表达以及三者与宫颈癌之间的关系.方法:分析在本院接受手术治疗的131例宫颈鳞状细胞癌患者的宫颈癌组织标本