【摘 要】
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紫外光检测器件是许多民用和军用设备中的关键部件,比如在紫外天文学,传感器,污染监测和导弹警报系统等.日前以Si为基础的器件已被子广泛应用,但是由于这种材料特性不是非常
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紫外光检测器件是许多民用和军用设备中的关键部件,比如在紫外天文学,传感器,污染监测和导弹警报系统等.日前以Si为基础的器件已被子广泛应用,但是由于这种材料特性不是非常适应适宜,所以器件效率较低,使用寿命较短并且噪声较高.而以GaN材料为基础的器件由于具有较宽的直接带宽,低暗电流和材料坚固等优势,被应用于UV光检测器的开发中,低于280nm的波长,被认定是日光在地球大气层内影响为0的区域.280nm也被定义为是日光的边缘.在GaN材料中加入更多的Al成分,可使截断波长从365nm减少至200nm.这样,研究人员就不需要使用任何减少少能够的滤光器就可得到真正对日光不敏感的检测器.研究人员制作出了Al组分X在0,0.50,0.70时的p-i-nAl<,x>Ga<,1-x>N光电二极管,它们的截断波长分别大约为365nm,270nm和230nm.某些特性,如漏电流、噪声等可归结为受材料所限制,尤其是耗尽层中的缺陷所造成的.所以说材料在器件的性能上有至关重要的作用.另外,研究人员可以通过尝试优化器件的几何结构设计来提高GaNp-i-n光电二极管的某些特性,如提高检测度等.另外尝试使用电子束曝光将极有可能制成更理想的光电检测器.该论文对GaN材料为基础的紫外光检测器件进行了一系列的深入研究,并用大量的实验数据进行了分析.这对今后进一步开发出高性能的光检测器件,并令其投入实际应用,有着重大意义和深远影响.
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