TiN类薄膜具有高强度、高硬度、化学稳定性好、耐磨及防腐蚀等一系列优点,其涂层被广泛作用于机械工业中的刀具、模具等表面,是具有巨大应用前景的薄膜材料。针对现有制备工艺中所存在的弊端,本文采用了双层辉光渗金属技术渗镀TiN类薄膜。本文主要探索了双辉渗镀TiC和Ti（CN）薄膜的工艺及机理,对渗镀工艺方案及参数进行了优化,对渗镀层的微观组织、结构、结合强度、耐磨性、耐腐蚀性进行了表征,分析了各表征结果,并探讨了相关机理,研究了多元合金渗入顺序对Ti（CN）渗镀层质量的影响。结果表明:采用一种方波式的源极结构,利用化合物原位合成及薄膜外延生长的原理可在低碳钢表面渗镀薄膜;渗镀层的厚度可超过20μm,其组织结构致密,与基体结合处无孔洞与裂纹;TiC渗镀层内只生成TiC相,Ti（CN）渗镀层内则可依工艺参数生成TiC_0.7N_0.3和TiC_0.2N_0.8两种不同结构的物相;渗镀层与基体结合良好,结合力最高可达到70N以上;渗镀层的表面硬度高,可超过2500HV,具有很好的耐磨性,可较基体提高7倍以上;渗镀层具有很好的耐腐蚀性,在3.5%NaCl和5%H₂SO₄水溶液中,渗镀层的耐腐蚀性均是基体的4倍以上;C、N、Ti渗入顺序会对渗镀层组织结构及性能产生很大的影响,在制备Ti（CN）渗镀层时的合金元素最佳供给方式是三元共渗。以上研究结果必将为双辉制备TiN类薄膜的理论与应用研究提供重要的参考价值。