【摘 要】
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随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气压传感器由于具有体积小、功耗低、量程宽、热响应快等优点,已成为国内外MEMS领域的重要研究方向。本文主要从理论分析、结构优化、以及性能测试等方面对微热板式微气压传感器进行了研究。主要包括以下内容:用经典传热理论和稀薄气体动力学对微热板式微气压传感器进行了电热理论分析并建立了
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随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气压传感器由于具有体积小、功耗低、量程宽、热响应快等优点,已成为国内外MEMS领域的重要研究方向。本文主要从理论分析、结构优化、以及性能测试等方面对微热板式微气压传感器进行了研究。主要包括以下内容:用经典传热理论和稀薄气体动力学对微热板式微气压传感器进行了电热理论分析并建立了传感器电热理论分析模型;采用有限元分析软件CoventorWare对三种薄膜厚度分布不同的微热
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