密封件作为常见零件类型之一,结构类型丰富,在各行各业都起着关键作用,航空航天领域发动机对密封件的密封性能有更高的要求,且随着极端制造技术的发展,此类密封件已逐渐向微型化、精密化方向发展,对其加工及检测技术都提出了更高的要求。目前对于微小尺寸阀门密封件的测量,主要存在两个难点:一是配合(密封)部分内表面测量问题,二是微小高曲率零件尺寸的测量问题。另外在微小尺寸阀门密封件表面形貌评价方面,国内外缺乏相关的理论研究,且表面粗糙度Ra实际评价效果较差。对于微小尺寸阀门密封件的测量,本文提出了基于可更换测头的高长径比位移传感器的接触式测量方法,其传感器的测杆具有较高的长径比,且可自由更换测头以满足不同类型密封件的测量要求,同时应搭配高精度的回转平台以实现回转类参数的测量。为验证测量方法的有效性,本文利用TESA TT80电感测头搭建简易的测量平台,对各样件进行圆度误差的测量;另外,利用Form Talysurf PGI 1240表面轮廓仪等现有设备对各样件表面粗糙度及出口接头的微小尺寸进行测量实验,并得到大量有效数据。对于微小尺寸阀门密封件的评价方法,本文基于用户提供的内漏率数据及分形参数与密封性能之间的关系,利用Matlab对密封件表面粗糙度各参数对于微小尺寸阀门密封件评价的有效性进行分析,论证了Ra在数值稳定性及与密封性能的相关性上存在的较大缺陷,将轮廓均方根斜率R△q作为更优的评价参数,并进行了验证。最后,对本文得到的数据结果进行不确定度分析,重点对微小尺寸测量过程中的各因素进行理论计算。完成了圆度误差测量结果、表面粗糙度测量结果、环面微小尺寸测量结果,以及轮廓均方根斜率R△q计算结果的不确定度分析,并得到其扩展不确定度,取包含因子为3,本文进行的测量实验,其结果表面粗糙度测量精度优于10nm,形状及尺寸测量精度优于10μm。