由于信息时代对信息的需求呈爆炸式增长,特别是因特网对全社会信息需求的推动作用,光通信因为带宽大、可靠性高、成本低、抗干扰能力强等特点,向高速、大容量方向取得了飞速的发展。在光通信技术中,核心研究内容之一即是实现高速电信号对光载波调制的光调制器的研制。DQPSK调制格式因其优越的性能,得到了越来越多的关注,而DQPSK调制器也必将在光通信领域发挥重要作用。本论文在并联MZ干涉仪结构的DQPSK调制器基础上,提出了一种新型嵌套MZ干涉仪结构的DQPSK调制器。本文从DQPSK调制原理入手,介绍了这种DQPSK调制器的结构,并讨论了其优点。研究内容包括光波导理论、电光效应等基础理论研究,以及DQPSK调制器波导结构的设计、电极结构的设计和工艺制作技术等几个方面。调制器的结构设计从M-Z干涉型光波导的结构出发,通过对器件结构的研究,合理设计出工艺参数,并画出光刻波导与光刻电极时所需的掩膜版图,设计出工作于1.55μm,带宽达到3GHz的DQPSK调制器。其插入损耗为12.25dB,消光比为11.4dB,半波电压达到8V。