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全球范围内大气污染的程度越来越严峻,随着我国中东部地区近几年多次出现大范围的雾霾天气。其中工业废气随意排放是造成雾霾天气的罪魁祸首,工业废气不仅污染环境,而且是一种有毒气体。党的十八大提出,把生态文明建设放在突出地位,因此,设计出一种新型的废气处理装置就显得刻不容缓了。论文研究并设计了一种应用于工业废气处理的介质阻挡放电(DBD)型等离子电源。对该装置供电电源等效电路、拓扑结构、阻抗匹配、主功率电路参数计算、调节功率的方式、频率跟踪等关键技术问题进行了理论分析,利用分析结果设计出一台功率为2kW的实验样机,样机的实际运行结果证明了理论分析的正确性以及装置的实用价值。本文主要工作如下:1.废气处理装置供电电源使用的逆变电路拓扑结构研究。分别对介质阻挡放电(DBD)型等离子电源中经常用到的两种负载谐振逆变电路拓扑进行理论分析,最后选用了串联谐振逆变电路拓扑作为DBD型等离子电源的逆变拓扑。2.介质阻挡放电(DBD)型等离子电源调功方式选择与研究。通过对介质阻挡放电(DBD)型等离子电源中常用到的几种调功方式进行比较,最后选用PWM调功作为本设计的调功方式。3.介质阻挡放电(DBD)型等离子电源阻抗匹配研究与分析。在对理想变压器分析的基础上,对实际变压器进行建模和分析,最后给出了实际变压器测量与计算的方法。4.介质阻挡放电(DBD)型等离子电源控制策略研究。对串联谐振逆变电路的工作状态进行了分析,提出一种PWM调功方式作为废气处理供电电源输出功率控制方式。5.阻挡放电(DBD)型等离子电源频率跟踪控制电路研究。在现有的频率跟踪电路基础上,提出一种基于CD4001的频率跟踪控制电路,实现了功率开关管工作频率与谐振网络中谐振频率近似相等,使逆变器工作在弱感性工作状态。最后,应用上述分析结果制作出一台功率为2kW、频率为40kHz的实验样机,根据对实验波形的分析,验证了理论分析的正确性和可行性。