随着微型器件的制造产品飞速发展,对于这些产品的微结构缺陷检测逐渐成为研究热点。微缺陷导致的失效往往会使整个零件失效,进而使整个系统出现安全隐患。本文基于超声激光数字全息显微检测平台,分析数字全息记录原理,利用虚拟仪器技术设计并验证同步控制系统,对微机械结构表面振动全息干涉图进行拍摄与采集,对于微结构缺陷检测具有重要的理论意义和应用价值。针对超声激光数字全息显微系统的全息图像采集问题,研究了数字全息技术,包括数字全息的记录原理,数字全息拍摄实验中记录距离、物参光强比以及物参夹角关键参数等:对超声激光数字全息显微检测实验中的硬件之间通信关系以及各子系统构成进行了分析,确定了超声激光数字全息显微同步控制系统软件编程的总体方案以及所要实现的各模块功能。针对系统的设计需求,分析并确定了超声激光数字全息显微同步控制系统的设计任务,根据系统对输出脉冲以及物理通道的要求选择采集卡,研究系统各硬件的驱动方式以及接口信号类型,确定脉冲激光器和CCD的驱动方案;研究并分析CCD的控制模式和内部工作顺序,实现对CCD的曝光参数设置、全息图像采集和实时显示以及存储功能;结合脉冲激光器、CCD以及信号发生器三者之间的工作时序,基于虚拟仪器技术设计延时可控的同步控制系统;最终实现两个模块的集成。针对所开发的超声激光数字全息显微同步控制系统,验证了其功能性以及测试精度;以分辨率板为实验对象,采集全息图,并进行多组对比实验验证了 CCD的参数设置功能,并且通过调节物参光强比,实现了对于反射式数字全息显微检测实验中物参光强比参数的选定范围;以铝板表面微缺陷为实验对象,通过多组实验得出合适的各通道延时,捕获到试件表面振动全息干涉图,证明了本系统的实用性和有效性。