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集成电路中互连导线存在一种典型的失效模式:即显微孔洞萌生、扩张、失稳形成狭长裂纹,从而切断导线使其发生开路失效。本文首先基于尖锐界面法和相场法分别推导出了孔洞演化的控制方程,利用相场界面厚度控制参数的渐进展开式证明了相场模型求解孔洞形貌演化问题的有效性。其次,利用保角变换的方法,推导出了保角变换后的椭圆形孔洞在表面能作用下迁移控制方程,解决了椭圆形孔洞初边值较难精确离散设置的问题。然后,利用相场法原理建立圆形孔洞在表面能、体扩散和双向等轴应力作用下的孔洞形貌演化的