N型衬底扩散工艺是目前衬底制备中的常用工艺,被广泛应用于三极管、MOS管等分立器件的加工工艺中。本文主要就车间N型衬底扩散工艺中,长期存在的生产周期长,一致性、重复性差,质量水平低等一系列问题,就其产生的可能原因在设备状态和工艺方法上进行了详细的分析,并根据情况提出解决的途径。通过在扩散炉设备和工艺上的实施,使N型衬底扩散的工艺水平和质量水平获得突破性的飞跃,本论文主要内容包括:1.对现行N型衬底扩散工艺下,二次分布一致性和均匀性差的原因进行了分析;2.研究了在测试炉管内恒温时温度产生波动的原因,对其原因进行分析,在分析的基础上对扩散炉设备进行了硬件上的改善,尽量保证了扩散温度的稳定;3.改变液态磷源-三氯氧磷的温度,以及改变携带源的氮气的流量,通过测试方块电阻,分析了源温高低和源氮流量大小对衬底预扩均匀性的影响,同时分析了扩散气流方向以及大小、扩散温度、扩散时间等对扩散质量的影响,选择了合适的工艺参数。