青光眼是全球第二位的不可逆致盲性眼病，眼压的连续检测对青光眼的诊断和治疗具有非常重要意义。传统的眼压检测法无法实现眼压的24 h连续检测，研究眼压的连续检测具有重要意义。本论文提出了一种基于柔性衬底的非侵入式无线无源眼压传感器，用于实现眼压的连续检测。　　提出一种基于MEMS技术的无线无源压力传感器微结构设计，在传统LC振荡电路中增加一个电容组成C-L-C振荡电路，解决了MEMS微电感与微电容两极板的电连接问题。采用具有不同杨氏模量的柔性薄膜材料Parylene C和PDMS，提出一种具有多层夹心结构的柔性压力敏感电容设计，解决了传感器与眼球的曲面适形贴合问题，并实现曲面压力敏感。　　结合眼压传感器的实际应用条件，利用有限元模拟分析软件对设计的MEMS眼压传感器的结构参数进行了仿真计算和优化。开展了MEMS眼压传感器的工艺研究，利用电镀法制备电极，解决了铜箔刻蚀法操作难的问题;利用ParyleneC的热压塑形法制备曲面传感器，克服了常用浇铸法操作复杂的难题，并成功研制出MEMS无线无源眼压传感器的初样器件。　　搭建测试平台，完成无线无源眼压传感器的体外静态和动态测试。测试结果表明该传感器能够实现眼压的连续检测，传感器的谐振频率与压力之间具有良好的线性关系，线性相关系数为0.9983，传感器的灵敏度为94.933 kHz/kPa。