在集成电路的设计过程当中,精确的电磁参数提取对电路设计具有至关重要的意义,而在这些电磁参数里电容参数尤为重要。电容提取的边界元法由于具有精度高、变量少、处理复杂边界能力强等优点而得到了广泛的应用。随着半导体工艺的进步,芯片集成度和运算速度的提高,互连寄生效应的影响也日益明显。现有的电容提取软件已经不能满足实际工程的需要,迫切需要研制出新的高精度、高效率的电容提取算法,或者是现有算法的联合。本文采用间接边界元法和多极加速算法来提取电容,并以此为依据编制了电容提取程序。该方法是间接边界元法与多极加速算法的结合,是一种快速的电容提取方法。本文重点介绍了间接边界元法和多极加速算法的基本原理,简要介绍了程序实现的思路,从程序实现的角度详细论述了导体模型的网格化问题,导体模型分割、索引问题,以及多级加速算法的分步实现问题,并对该方法的性能进行了验证。最后,本文还简要介绍了GMRES(m)的实现步骤,这是求解大型线性方程组的一种有效方法。