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在一些易燃易爆、人流量众多的场合,空气中成分的监测关系到人的生命和财产安全。同时在现今国际反恐的大背景下,化学武器的攻击成为一个敏感的话题,痕量级的有毒气体往往都能对人造成生命危害。因此我们需要能够检测到极低浓度气氛的分析探测仪系统。富集器是设置在分析探测仪器前端的一个部件,通过其富集和解吸附两个阶段,可以使这些分析探测系统的探测能力提升数倍至数百倍。传统的富集器是管式结构,可以实现高的富集率,但缺点是器件的死体积大、热容量高、功耗大。采用MEMS技术制备的MEMS气体富集器具有微体积、热容量小、升