新川SDW25型引线键合机微夹钳问题研究

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全自动引线键合机是微电子集成电路制造业的关键设备之一,随着现今科学技术和社会经济的高速发展,全自动引线键合机的速度也越来越快,精度也越来越高,产品质量和生产效率同时也得到了大幅的提高。本课题来源于乐山-菲尼克斯半导体有限公司,研究的主要目的是为了改进日本新川SDW25型引线键合机在引线键合中频繁断线中断的问题,以提高生产效率和降低劳动力强度。首先,介绍了全自动引线键合机的技术现状、发展趋势、工作原理和全自动引线键合机中热压力超声键合的键合工艺,并对要研究的新川SDW25型引线键合机进行标准化。其次,对新川SDW25型引线键合机的全自动送丝系统进行了受力分析,并对设备中关键部件—电磁线圈微夹钳进行分析,根据结果说明了电磁线圈微夹钳是造成设备断线的关键。再者,根据近年来运用的比较多的压电材料,建立了压电陶瓷微夹钳双晶片横梁结构的输入和输出模型,通过建立数学模型,确定了压电陶瓷微夹钳的实现方法。并依据原电磁线圈微夹钳的结构设计了压电陶瓷微夹钳的钳体结构。最后,根据需要设计压电陶瓷微夹钳的驱动电源,并对压电陶瓷微夹钳进行相应的特性测试,实验结果表明其微夹钳能够满足技术要求,对改善SDW25型引线键合机在引线键合过程中的断线问题有着良好的作用。
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