【摘 要】
：
随着集成电路工艺不断发展,铜互连体系将逐步取代铝互连系统.铜互连工艺的一个重要课题是扩散阻挡层的研究.随着集成度不断提高,对于阻挡层在薄膜厚度,热稳定性,电导性,均匀
论文部分内容阅读
随着集成电路工艺不断发展,铜互连体系将逐步取代铝互连系统.铜互连工艺的一个重要课题是扩散阻挡层的研究.随着集成度不断提高,对于阻挡层在薄膜厚度,热稳定性,电导性,均匀性等方面的要求将变得愈加苛刻.传统的TiN阻挡层不再胜任这项工作,人们在探寻适用的扩散阻挡层.非晶态M(M=Ti,Mg,Ta,W)-Si-N三元化合物由于其较佳的热稳定性而受到人们的关注.该文以W-Si-N三元化合物为研究对象.我们考察制备工艺条件对其薄膜特性与阻挡特性的影响,进一步探究薄膜抑制铜扩散的基本原理,最终确定W-Si-N薄膜的最优制备方案.由对连续淀积之Cu/W-Si-N/Si结构的样品分析可知,W-Si-N薄膜中氮含量对其阻挡特性有显著影响,阻挡层薄膜氮含量与电阻率随淀积过程中氮气/氩气流量比同步升高,其阻挡特性亦随之改善.在样品制备过程中,淀积铜膜前对阻挡层进行预退火处理可使之阻挡特性得到改善.阻挡层薄膜在暴露于大气期间所纳入的氧同样有助于其阻挡特性的改善.该文最终确定阻挡的最佳制备方案为:淀积时氮气/氩气流量比为1:1,预退火处理条件为400℃,5分钟.通过对W-Si-N/Cu/W-Si-N/Si结构样品分析可知阻挡层最高有效温度约为775℃,并且经500℃退火1小时后仍保持有效.将W-Si-N阻挡层与不同氮氩比条件下淀积的不同厚度的TiN,WN阻挡层进行比较,W-Si-N膜以其最小的厚度最高的有效温度而优于其他阻挡层.
其他文献
电动方法是近二十世纪八十年代发展起来的一种环境友好的污染土壤修复技术,初期用于污染土壤中重金属的分离,后期用于污染土壤中有机物的降解。传统意义上电动修复技术的基本
“天时人事日相催,冬至阳生春又来.”难忘的2019年刚刚过去,崭新的2020年翩翩而来,我们谨向奋斗在生产、科研、管理第一线的全国测绘地理信息工作者致以新年的祝福、亲切的问
该文首次提出了一种分场显示驱动(current sub-frame driving)模式.经过分析和模拟,相信这种模式能够很好地解决像素间发光的一致性问题.同是地,综合平衡考虑电路规模和时序
从传统的"手把青秧插满田,低头便见水中天"到依托空间信息技术、大数据、人工智能和物联网技术服务农业产业化发展,正如央视纪录片《了不起的中国农民》所讲,这群来自美国加州硅谷的创业团队重新定义了农民,从"靠天吃饭"到"知天而作",遥感大数据赋能智慧农业,用科技之利器碰撞大国之根基农业,擦出的火花照亮了中国农业的未来。
智慧农业方兴未艾,对智慧农业各式各样的解读还存在着细微差别,从众多解读中可以发现,大数据是其中不可或缺的重要部分,信息感知则是农业数据的源头.“遥感技术、卫星定位技
蛋白质作为生命有机体的主要成分，是细胞内各类代谢和调控等生命功能的重要执行者，也是致病因子、药物等外界因素最重要的作用靶点。近年来，随着对各种疾病机理研究的不断深入，与
该文阐述了激光与生物组织的相互作用,分别建立了热作用、等离子体和冲击波作用的模型.并指出纳秒激光与牙齿作用机理是三者的结合.提出短脉冲Nd:YAG激光的实现方法.计算了KT
本文首先简要介绍了与电源技术密切相关的学科的研究和发展现状，然后对功率因数校正（PFC）技术进行了综述，并着重对有源功率因数校正（APFC）技术进行了论述。最后提出了两种功率因数校正的电路拓扑：一种是由电荷泵原理引出的；另一种是基于Buck-Boost原理工作的电路。这两种电路都具有功率因数高、输出电压较低等特点。对这两种电路进行了详细的分析和仿真研究。对于Buck-Boost型电路做出电路板进行
农业在国民经济中居于基础地位,我国是个农业大国,但总体来看我国农业生产力水平不高,科技支撑能力不强,粗放式生产经营的现象广泛存在。当前我国农业正面临从传统农业向现代农业转型升级的重要时期,现代农业的发展和新一代信息技术的应用息息相关。近年来,以物联网、人工智能、"3S"、云计算为代表的信息技术层出不穷,信息技术的推广应用逐步渗透到