测头是三坐标测量机的重要部分，随着科技的发展，特别是三坐标测量机应用的范围越来越广，测头的发展也越来越迅速。本文在国家自然科学基金专项资助项目“基于免形状测量原理的复杂形状测量仪”(项目编号：50627501)的支持下，研制一种分辨力高，测量力小，测端直径小的三维触发式测头。 本课题主要从测头的结构及传感系统展开研究。测头结构上采用悬丝和三分叉支架组成的柔性支撑结构。这种结构具有阻力小，质量轻的优点，能有效的减小测量力，也有利于采用直径较小的测针。测头传感系统采用光纤布拉格光栅FBG作为传感元件。FBG作为传感器具有灵敏度高，抗干扰能力强的优点，能有效的提高测头系统的分辨力。在支架三分叉的端部和支架顶部的支撑圈之间安装FBG传感器，当测杆偏摆时，通过测杆、支架和悬丝组成的柔性支撑系统把测杆的偏摆传递到FBG上，通过匹配光栅的解调方式，得出测头触发信号。 本文对测头的关键参数进行标定，结果为：测头结构复位性精度小于20nm，测头传感系统重复性为0.2mV，测头分辨力最高达50nm，测力小于5mN，这与拟定的参数吻合。