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移动电话、无线电视等无线通信设备的普及给人带来诸多的便宜,极大地提高了人的生活品质。但同时通讯行业对频谱资源的争夺也越演越烈,5G、物联网和大数据时代的到来迫使射频前端向高频率、微型化发展,在此浪潮中FBAR(Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator)滤波器无疑扮演了重要的角色。在传统的滤波器中,大尺寸和叉指电极线宽分别阻碍了陶瓷滤波器的集成化、SAW滤波器的高频化,而FBAR因可集成化以及对硅工艺的兼容性吸引了全世界的目光。本论文研究的FBAR器件采用高机电耦合