基于SU-厚胶工艺的SAR型微混合器设计及实验研究

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21世纪分析仪器和分析科学的目标是分析仪器的微型化与集成化,微流体芯片是其中发展最快的一个方向。微混合器是微流体芯片的重要组成部分,实现试剂快速和均匀的混合对提高整个芯片性能有重要作用。   本文在对国内外微混合器已有研究基础上,首先提出一种基于二维微流道制作工艺的分合式微混合单元;基于三个比较标准,运用仿真对分合式微混合单元的三个结构参数进行了优化;基于SU-8厚胶工艺,制作出了两种分合式微混合器,并制作出了两种典型的微混合器作为比较对象;用四种不同粘度的流体全面检验了设计的分合式微混合器。本文的主要内容如下:   1、总结了最近几年微混合器的研究情况,并叙述了各种主动式混合器和被动式混合器的混合原理和优缺点,提出了本课题的主要研究内容和研究意义。   2、简述了微尺度流动的控制方程和相关常数,并对有限体积法的实质、处理过程、二维和三维流体力学问题的离散方程做了介绍,最后对微混合单元建模、网格划分、参数设置和边界条件等方法进行了说明。   3、说明了设计的分合式微混合器的混合原理,针对微混合单元,从单位长度混合效率、分割比、压力梯度三个方面,对混合单元的三个主要结构参数:单层流道深度h、支路夹角θ、支路直段长度l,进行仿真分析,并从微混合器应用场合、制作工艺方面综合考虑,得出优化结构参数:h=100μm,θ=70°,l=0μm。   4、对SU-8厚胶工艺分步骤做了说明,并简要介绍了流道材料聚合物PDMS。为客观评价设计的分合式和组合分合式微混合器的性能,选择直道、斜阻块式微混合器做为比较对象,利用SU-8厚胶工艺完成了各个混合器的制作。   5、简述了微混合器混合效果的检测和定量评价的方法;用甘油和去离子水按照四种体积比配制出四种不同粘度的流体作为实验流体,以混合长度作为评价指标,全面检验了分合式微混合器的混合性能。  
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