近年来,随着太赫兹技术的广泛应用,太赫兹的参数计量需求日益增加,频率是太赫兹波最重要的基本参量之一,实现太赫兹频率的精密测量方法并建立太赫兹频率计量标准对太赫兹技术的发展具有十分重要的意义。基于太赫兹频率梳技术可实现太赫兹频率的准确测量和量值溯源,但是对太赫兹辐射源的稳频和带宽要求严格。为了扩展太赫兹波长和频率的测量能力,实现更广泛的各类太赫兹源测量,本论文开展干涉法测量太赫兹波长和频率的研究,研制了太赫兹干涉仪。本文主要工作及研究内容如下:（1）针对太赫兹频率梳测量技术对太赫兹辐射源频率特性有严格要求的缺陷,课题分别研究了基于法布里-珀罗干涉原理和迈克尔逊干涉原理的太赫兹波长检测方法,设计和搭建相关测试光路,研制出法布里-珀罗太赫兹干涉仪和迈克尔逊太赫兹干涉仪,实现非稳频94.5GHz辐射源和775GHz返波管太赫兹激光器的波长和频率测量。（2）为了实现干涉信号的自动采集和分析,课题开发了基于虚拟仪器技术的干涉信号测量和控制装置。装置采用太赫兹热释电探测器采集干涉信号,经斩波、锁相等微弱信号处理放大技术,输入到模拟信号数据采集卡完成光点强度实时采集;同时利用高精度的一维位移装置,带动太赫兹热释电探测器完成正向和反向扫描,实现微米级定位,从而完成一维干涉信号采集;课题采用Lab View语言开发了测量软件。（3）将研制的法布里-珀罗太赫兹干涉仪和迈克尔逊太赫兹干涉仪测量结果溯源到太赫兹频率梳,计算出干涉装置与太赫兹装置的系统误差修正因子,利用太赫兹频率梳对100GHz和300GHz稳频倍频器校准,实现了法布里-珀罗太赫兹干涉仪和迈克尔逊太赫兹干涉仪的量值溯源。（4）对研制的法布里-珀罗太赫兹干涉仪和迈克尔逊太赫兹干涉仪进行了测量重复性和稳定性考核,并对测量结果进行了不确定度分析和评定。两种干涉装置测量结果相对偏差小于0.3%,可实现非稳频率和宽频带太赫兹波长和频率测量,扩展太赫兹波长和频率的测量能力。