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首次在碳钢基底上制备了纳米SiO2薄膜,并以水玻璃溶液为原料,首次采用可溶性硅酸盐型液相沉积法在基材表面制备纳米薄膜。在试验过程中,分析了薄膜制备过程中各种条件对所得SiO2薄膜的影响。X射线光电子能谱分析表明所得薄膜成分为SiO2;扫描俄歇微探针测得制得的一次沉积薄膜的厚度为20nm,且薄膜与碳钢基材之间存在扩散层,扩散层厚度大于60nm;原子力显微镜分析表明薄膜由紧密排列的SiO2颗粒构成,优化条件下所得薄膜中SiO2颗粒呈椭球状,颗粒尺寸为30nm左右;所得液相沉积纳米SiO2薄膜对碳钢基底具有一定的保护作用。通过对薄膜的深度剖析,结合所采用成膜溶液的性质,对以水玻璃溶液为原料在碳钢表面采用液相沉积法制备纳米SiO2薄膜的机理和成膜过程进行了探讨。