【摘 要】
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近年来,由于金材料价格的不断提高,IC封装中铜线材料的使用越来越频繁。与金相比,铜化学性质更活泼而且硬度更大,这些性质上的差异会导致在键合工艺过程中铜发生氧化,以及造
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近年来,由于金材料价格的不断提高,IC封装中铜线材料的使用越来越频繁。与金相比,铜化学性质更活泼而且硬度更大,这些性质上的差异会导致在键合工艺过程中铜发生氧化,以及造成芯片和铝垫上的损伤。本文主要研究铜线键合工艺及工艺过程中材料的问题,根据对FAB形状的分析,优化了EFO电流和EFO时间,使用化学腐蚀的方法测量了HAZ的长度,通过系统地研究键合工艺过程中铜线材料硬度变化和显微结构,从而分析铜线键合机理,研究铜线键合过程中热、压力和超声波的作用。根据铜氧化机理,通过实验研究了铜线FAB氧化程度与保护气氛流量的关系。最后,分析了铜线键合过程中的由氯元素所引起的腐蚀失效问题,确定和研究了它们的失效模式和失效机理。
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