具有多模干涉波导结构InP基半导体激光器的研究

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半导体激光器在现代的高速光通信系统中起着至关重要的作用。具有大功率输出、小尺寸、宽光谱等特点的半导体激光器则被广泛用作拉曼放大器(RA)、掺铒光纤放大器(EDFA)的泵浦光源。本论文主要研究一类具有多模干涉波导(Multimode Interferometer, MMI)结构的大功率半导体激光器。首先利用束传播方法模拟光场在多模干涉波导结构中的传播。基于光场在多模干涉波导中的“自映像”原理,设计了一种1×1矩形MMI级联结构的激光器。由于具有较大的泵浦区,激光器的饱和输出功率达到21.8mW,饱和电流达到600mA,电阻为3.3Ω。在此基础上,设计了一种具有楔形MMI级联结构的激光器。相比于前者,楔形MMI级联结构的激光器能有效减小MM工区的长度,从而减小器件长度,并增加MMI区面积。激光器的饱和输出功率最大达到32mW,饱和电流达到780mA,电阻仅为1.5Ω。测量了激光器的光谱特性,中心波长为1.5um,具有约83nm的3dB增益谱宽。测量了两类管芯的远场特性,在室温及大注入电流条件下,均获得稳定的单横模输出特性。为进一步研制大功率、低能耗的半导体激光器奠定了基础。
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