血液粘度检测在生物医学领域中具有重要意义,许多常见的心血管疾病都与血液粘度的升高有着密切的关系,并且随血液粘度的降低这些疾病的症状多会有所缓解,所以血液粘度可以在一定范围内作为心血管疾病的早期诊断、预防以及患者治疗期间疗效观察的主要指标。现有的血液粘度检测方法如毛细管粘度测定法和旋转式粘度测定法等普遍存在耗时长、实时性差、需要血液试样多、处理过程复杂、不便普及应用等缺点。基于此本文提出了使用乐甫波传感器进行血液粘度检测的设计方案,旨在设计一种能快速诊断和分析血液粘度并且具有价格亲民、轻巧便携、操作简单方便、准确性高等优点的血液粘度检测仪器。本论文的主要研究工作如下:(1)分析了目前国内外在血液粘度检测方面存在的问题以及乐甫波传感器国内外的研究现状,结合乐甫波传感器用于液体检测的优点,明确了本论文的主要研究内容。(2)总结分析了在声表面波器件中选择乐甫波传感器作为血液粘度检测的原因,通过对乐甫波传播特性的研究,选择了最优的负载粘性液体时的乐甫波传感器理论模型,确定了乐甫波传感器用于血液粘度检测的可行性。(3)结合现有的工艺条件通过对乐甫波传感器压电基底的选择,薄膜材料的选择与设计以及叉指换能器的形状与尺寸的设计,完成对乐甫波血液粘度传感器的优化与设计,同时对用于模拟血液的实验材料进行了选择与分析。(4)基于MEMS工艺平台对乐甫波传感器的工艺制作流程进行了分析,结合乐甫波传感器各层结构的特性分别选择了不同的光刻和沉积技术,并给出了乐甫波传感器的具体加工工艺流程,对乐甫波传感器制作过程中需要用到的两块掩膜版进行设计。(5)对制作完成的乐甫波传感器进行血液粘度检测分析,完成了适合用于模拟血液的明胶溶液的配比与制作;分别对制作的乐甫波传感器进行叉指换能器短路测试和谐振频率测试,然后在测试合格的乐甫波传感器上使用网络分析仪完成模拟血液粘度检测;最后通过计算机Matlab数据读取与对比分析,获得不同粘度模拟血液检测结果,得出了用于定性检测的血液粘度幅频特性曲线,并根据振幅的大小区域的不同给出了不同的诊断建议。