频闪成像与运动激励同步控制系统

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【摘要】

：

微结构运动特性不仅可用于评价MEMS器件性能,而且也可用于分析微结构材料特性和机械力学特性等与MEMS可靠性相关的参数,因此微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了一种基于FPGA平台的频闪成像和运动激励同步控制系统。论文的主要内容包括以下几个方面:1.对频闪成

【作者】

：

孙彬

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2007年06期

【关键词】

：

MEMS测试频闪成像运动激励同步控制 FPGA 半导体激光器

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