【摘 要】
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该文研究了VO薄膜材料的溶胶-凝胶制备技术,讨论了溶胶-凝胶工艺条件对薄膜的微观结构和性能的影响.以VO薄膜器件的开发和VO薄膜的制备奠定了基础.由于钒的多价态性,使制备单
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该文研究了VO<,x>薄膜材料的溶胶-凝胶制备技术,讨论了溶胶-凝胶工艺条件对薄膜的微观结构和性能的影响.以V<,2>O<,5>薄膜器件的开发和VO<,2>薄膜的制备奠定了基础.由于钒的多价态性,使制备单一价态的钒氧化物在工艺上很难实现,该文运用化学反应反应热力学理论探讨了使用真空或惰性气体中热处理和氢水平衡法制备二氧化钒薄膜的工艺条件.
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