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微小结构在航空航天、电子工业、信息通讯等领域具有广阔的应用前景。电铸作为一种利用金属电化学阴极沉积原理来制备零件的精密特种加工技术,具有高复制精度、无工具损耗等特点。因此,使用该技术可以制造形状复杂的微小结构零件,尤其适用于传统加工技术难以实现的内腔结构复杂、尺寸微小且精度高的金属零件的加工。本文针对圆锥内表面波纹微结构的加工进行了研究,提出了采用组合芯模电铸制备内腔结构复杂的圆锥波纹喇叭微结构。主要研究内容如下:(1)经过论证,确定了工艺路线;首先采用基于UV-LIGA工艺的电铸技术制备微铜环和微