湿度传感器作为一种重要的传感器,在医疗、室内湿度检测和工农业环境监测等日常生活中发挥着重要的作用。湿度传感器应满足对湿度变化响应快、成本低、灵活性好等要求。在众多湿度传感器种类中,电容型湿度传感器由于其湿度变化响应快、成本低等优点已经广泛地应用于商业化领域中。在电容型湿度传感器中,传感材料及电极材料的特性及其制备方法决定了传感器的性能水平。但是,商业化的电容型湿度传感器由于制备工艺和材料特性等因素,使得传感器的灵敏度不高,不能很好满足小型化便携式的需求。本文依据电容型湿度传感器的工作原理,设计并研究了以激光光刻氧化石墨烯为电极以及用氧化石墨烯和二氧化锡材料为传感材料的湿度传感器,此器件具有灵敏度高、稳定性好和体积小等优点。主要的研究内容如下:（1）通过DVD光驱激光光刻氧化石墨烯（GO）层,一步法将氧化石墨烯（GO）还原为还原氧化石墨烯（r GO或LSG）形成交叉电极,也就是用激光选择性的光刻氧化石墨烯（GO）层,在激光照到的地方形成导电性好的还原氧化石墨烯（LSG）,用于作为传感器的电极;而未照射到的地方仍然保持氧化石墨烯（GO）状态,用于作为湿度传感器的传感层（GO）。这种LSG/GO/LSG叉指结构构成了全石墨烯电容型湿度传感器（LSG湿度传感器）。通过分析LSG湿度传感器在11%～97%相对湿度范围内的电容值,对该湿度传感器的传感机理进行了研究。该湿度传感器在进行连续40天的稳定性测试中体现出了良好的稳定性和灵敏度。（2）在LSG湿度传感器基础上,通过在电极和传感层表面覆盖不同厚度的氧化石墨烯传感层（GO）,制备了一种高灵敏和低成本的LSG-GO湿度传感器。测试不同的LSG-GO传感器在19.0%～97.4%相对湿度范围内的湿敏性能,得出负载150ml GO（4mg/ml）的LSG-GO湿度传感器具有最高的灵敏度。对LSG-GO150湿度传感器进行连续监测32天,体现出了良好的稳定性并对传感器的湿敏机理进行了探讨。研究表明,LSG-GO150是一种具有广阔应用前景的高性能湿度传感器。（3）我们利用激光对包含有纳米半导体颗粒SnO2的氧化石墨烯（GO/SnO2）直接进行光刻,得到新型LSG-GO/SnO2湿度传感器。由于激光的作用,在激光照射到的地方形成导电性好的还原氧化石墨烯（rGO或LSG）,用于作为传感器的电极;而未照射到的地方仍然保持氧化石墨烯（GO/SnO2）状态,用于作为湿度传感器的传感层（GO/SnO2或GS）。此传感器的制作是一步完成的,简单且经济。LSG-GS在11%～97%相对湿度（RH）测试范围内,当传感层中GO与SnO2的质量比达到1:1时,湿度传感器（LSG-GS1）具有最高的灵敏度和较快的响应恢复时间。LSG-GS1传感器进行41天的连续监测,体现出了良好的稳定性,主要归因于SnO2与GO在复合层中的协同作用。研究表明,LSG-GS1传感器是一种具有很高的实用价值及应用前景的高性能湿度传感器。